產(chǎn)品名稱(chēng)：spectron減壓閥(E53-VCR)

品牌：德國(guó)spectron

產(chǎn)地：德國(guó)

型號(hào)：E53-VCR

產(chǎn)品特性

• 減壓閥適用于純度高于 6.0 的有害和超高純氣體
• 雙級(jí)式減壓閥
• 減壓閥可用于真空
• 高精度控制壓力
• 對(duì)外界是金屬對(duì)金屬的密封方式
• 高表面質(zhì)量
• 內(nèi)置過(guò)濾器
• 綁定式膜片結(jié)構(gòu)
• 小的內(nèi)部空間設(shè)計(jì)以減少吹掃次數(shù)
• 電解拋光表面(與氣體接觸區(qū)域)
• 通過(guò)調(diào)節(jié)手輪方便地控制輸出壓力
• 100 % 氦氣檢測(cè)
• 在ISO 5.0等級(jí)的潔凈室內(nèi)組裝

技術(shù)參數(shù)

工作壓力：300 bar
材料：閥體:不銹鋼 1.4404 (SS 316L)
膜片: : 哈氏合金 C276
其它與氣體接觸零件: 不銹鋼 1.4404 (SS 316L)
密封件: PCTFE 、PTFE或 PVDF
表面粗糙度：R?,≤ 0,25 µm
R?,平均 ≤ 0,18 µm
泄漏率：(對(duì)外): 1 x 10?? mbar l/s He
(對(duì)內(nèi)): 1 x 10?? mbar l/s He
溫度范圍：-20°C 到 +60°C
C?-值：0,24
重量：1,7 kg
進(jìn)-氣接口：1/4"-VCR -M 或
1/4"-VCR -F

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