產(chǎn)品名稱：壓力控制面板
品牌：spectron
產(chǎn)地：德國
型號：SP4

SP4壓力控制面板德國spectron產(chǎn)品特性

• 壓力控制面板適用于可燃性氣體和純度高于6.0的超高純氣體
• SBE: 吹掃連接模塊或
  SR: 進(jìn)氣盤管和單個閥并配
  - 手動廢氣排放閥 (HPV)
  - 手動進(jìn)氣閥 (HPI)
  - 手動吹掃進(jìn)氣閥 (PGI)
• 單向閥以防止工藝氣體進(jìn)入吹掃氣體管路中
• 內(nèi)置過濾器
• 減壓閥為綁定式膜片結(jié)構(gòu)
• 配置爆破片
• 不銹鋼膜片式截止閥可選手動或氣控式
• 電解拋光表面 (與氣體接觸區(qū)域)
• 清晰的手輪位置指示 (開/關(guān))
• 100 % 氦氣檢測
• 在ISO 5.0等級的潔凈室內(nèi)組裝
• 有多種可選項的模塊化設(shè)計

SP4壓力控制面板德國spectron技術(shù)參數(shù)

工作壓力：**300 bar
材料：閥體:不銹鋼 1.4404
膜片: : 哈氏合金 C276
其它與氣體接觸零件: 不銹鋼 1.4404
密封件: PCTFE 或 PVDF
表面粗糙度：R?,** ≤ 0,25 µm
(與氣體接觸區(qū)域) R?,平均 ≤ 0,18 µm：泄漏率：(對外): 1 x 10?? mbar l/s He
(對內(nèi)): 1 x 10?? mbar l/s He
溫度范圍：-20°C 到 +60°C

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